易度MFC助力半導(dǎo)體行業(yè)解決各類復(fù)雜測(cè)控需求
光刻機(jī)的氣路系統(tǒng)中，MFC是核心控制部件，高純壓縮空氣或惰性氣體通過(guò)MFC精確控制后進(jìn)入光刻機(jī)，對(duì)特定部位的溫度精確控制，確保雙工件臺(tái)的超高運(yùn)動(dòng)精度。
極快響應(yīng)時(shí)間 潔凈車間生產(chǎn) 極低壓損 耐腐蝕
更多場(chǎng)景應(yīng)用
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MOCVD
離子注入機(jī)
刻蝕機(jī)
光刻機(jī)
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服務(wù)優(yōu)勢(shì)
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原理優(yōu)勢(shì)
領(lǐng)先的層流原理，產(chǎn)品精度高、穩(wěn)定性高、響應(yīng)速度快
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技術(shù)優(yōu)勢(shì)
14年的技術(shù)積累，核心器件完全自主研發(fā)，定制性強(qiáng)，適應(yīng)性寬
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應(yīng)用優(yōu)勢(shì)
行業(yè)龍頭客戶長(zhǎng)期批量使用，各種應(yīng)用工況經(jīng)驗(yàn)豐富
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服務(wù)優(yōu)勢(shì)
1小時(shí)及時(shí)響應(yīng)，24小時(shí)方案呈現(xiàn)，貨期短，服務(wù)靈活性強(qiáng)